ナノテク研究センター機器：随時受付


　ナノテク研究センター内の機器を貸出しします。

　利用規程を遵守し、ご利用いただくようお願い申し上げます。
　利用規程（ＰＤＦ）


【所在地】
　〒９４０−２１３５
　長岡市深沢町２０８５−１６
　ながおか新産業創造センター（ＮＢＩＣ）内　同センターＨＰ

【利用時間】
　平日９：００〜１７：００

【予約状況】
　機器予約状況はこちらをご覧ください。
　ＹＡＨＯＯ！カレンダー

【案内チラシ】
　案内チラシ（ＰＤＦ）

【設備配置図】
　配置図（ＰＤＦ）

【設置機器利用料金及び概要】

■スパッタリング装置</h4>
　
　利用料金：１２，０００円／時間
　メーカー：芝浦メカトロニクス
　機種：ＣＦＳ−４ＥＰ−ＬＬ（ｉ−Ｍｉｌｌｅｒ）
　仕様：同一チャンバ内に３種類のターゲット
　　　　　マグネトロンサイドスパッタ方式、ＲＦ（５００Ｗ）切替
　　　　　基板：φ１５０ｍｍ以下、φ２００ｍｍ／バッチ
　　　　　基板回転機構

■電子線描画装置
　
　利用料金：１３，０００円／時間
　○ＳＥＭ部
　　メーカー：日立ハイテクノロジーズ
　　仕様：ショットキエミッション型電子銃
　　　　　　分解能：１．５ｎｍ（３０ｋＶ，ＷＤ：５ｍｍ）
　　　　　　倍率：×２０〜×５００，０００
　　　　　　機種：Ｓ４３００ＳＥ
　○描画制御部
　　メーカー：東京テクノロジー
　　機種：Ｂｅａｍ　Ｄｒａｗ
　　仕様：位置決め制御：±０．１ｍｍ、繰返し精度：±０．５ｍｍ
　　　　　　最小線幅：０．０２〜０．０５ｍｍ
　　　　　　（描画エリア１００、５００ｍｍ）

■ダイシング装置
　
　利用料金：１０，０００円／時間
　メーカー：東京精密
　機種：Ａ−ＷＤ−１１０Ａ
　仕様：基板サイズ：最大φ２４０ｍｍ
　　　　　　　　　　　　又は２４０×２８０ｍｍ、２１２×２１２ｍｍ
　　　　　　　　　　　　低倍／高倍切替式によるオートアライメント
　　　　　　　　　　　　Ｘ軸切削速度　０．１〜４５０ｍｍ／ｓ
　　　　　　　　　　　　Ｙ軸移動速度　最大８０ｍｍ／ｓ

■ナノ加工機
　
　利用料金：１２，０００円／時間
　メーカー：ファナック
　機種：ＲＯＢＯＮＡＮＯ　α−０ｉＡ


■非接触三次元測定機
　
　利用料金：３，０００円／時間
　メーカー：三鷹光器
　機種：ＮＨ−３ＳＰ

■クリーンルーム
　クラス１０００（対象粒径０．５μｍ以上）

■精密加工室
　２３±１℃の精密恒温室

【問合せ先】
　＜設備管理者＞
　　新潟県工業技術総合研究所　レーザー・ナノテク研究室
　　〒９５９−２１３５
　　長岡市深沢町２０８５−１７
　　ＴＥＬ０２５８−４７−５１７１
　　ＦＡＸ０２５８−４７−５１７２
　＜管理責任者・建物管理者＞
　　〒９４０−２１２７
　　長岡市新産４−１−９
　　ＴＥＬ０２５８−４６−９７１１
　　ＦＡＸ０２５８−４６−４１０６