ナノテク研究センター

機器の貸し出しをします。
利用規程を遵守し、ご利用いただくようお願い申し上げます。

※平成30年4月2日より利用料金が改定になりました。

所在地

ナノテク研究センター

〒940-2135
長岡市深沢町2085-16
ながおか新産業創造センター(NBIC)内

【アクセス】
関越自動車道「長岡IC」から車で5分

同センターHPはこちら >

  

貸出詳細

利用時間

平日9:00~17:00

予約状況

ご予約が入っている日時をグーグルカレンダーに掲載しております。

案内チラシ

案内チラシ(3.3MB)

設置機器利用料金及び概要

スパッタリング装置

スパッタリング装置

利用料金:4,000円/時間

メーカー:芝浦メカトロニクス
機種:CFS-4EP-LL(i-Miller)
仕様:同一チャンバ内に3種類のターゲット
マグネトロンサイドスパッタ方式、RF(500W)切替
基板:φ150mm以下、φ200mm/バッチ
基板回転機構

電子線描画装置

電子線描画装置

利用料金:4,500円/時間

【SEM部】
メーカー:日立ハイテクノロジーズ
機種:S4300SE
仕様:ショットキーエミッション型電子銃
分解能:1.5nm(30kV,WD:5mm)
倍率:×20~×500,000

【描画制御部】
メーカー:東京テクノロジー
機種:BeamDraw
仕様: 図形つなぎ精度±0.3μm、
繰返し位置決め精度:±0.5μm
最小線幅: 0.02~0.06μm
(描画エリア:□ 100~500μmの範囲)

ダイシング装置

ダイシング装置

利用料金:3,500円/時間

メーカー:東京精密
機種:A-WD-110A
仕様:基板サイズ:最大φ240mm
又は240×280mm、212×212mm
低倍/高倍切替式によるオートアライメント
X軸切削速度0.1~450mm/s
Y軸移動速度最大80mm/s

非接触三次元測定機

非接触三次元測定機

利用料金:3,000円/時間

メーカー:三鷹光器
機種:NH-3SP
■X, Y, Z軸
可動範囲:X, Y軸150mm, Z軸120mm
分解能:X, Y軸0.01μm, Z軸(AF部)0.001μm
■回転軸
可動範囲:360°

ドライエッチング装置

ドライエッチング装置

利用料金:5,000円/時間

メーカー:住友精密工業
機種:MultiplexASE-HR
仕様:プロセスガス:C4F8、CF4、CHF3、SF6、O2
試料サイズ:φ100mm
加工対象:Si、SiO2
ボッシュプロセス対応

クリーンルーム

クラス1000(対象粒径0.5μm以上)

精密加工室

23±1℃の精密恒温室

お問い合わせ先

機器のご予約希望、お問い合わせは新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室(電話:0258-47-5171)までご連絡ください。

<操作研修・設備管理者>

新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室

〒940-2135
長岡市深沢町2085-17
電話:0258-47-5171
FAX:0258-47-5172

<管理責任者・建物管理者>

NICOテクノプラザ

〒940-2127
長岡市新産4-1-9
電話:0258-46-9711
FAX:0258-46-4106