ナノテク研究センターは、ナノテクノロジーを活用した産業振興を目的とした施設です。
ナノレベルの微細な成膜・描画・エッチング・切出・計測ができる各種機器がご利用できます。
電子・医療・光学部品、MEMS、センサ、AI・IoTデバイスなどの研究・開発・試作用にご利用ください。
| 貸出機器等 (装置詳細は装置名をクリックしてください) |
メーカー・機種名 |
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| スパッタリング装置 | 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL(i-Miller) |
| 電子線描画装置 | SEM部：日立ハイテクノロジーズ S4300SE 描画制御部：東京テクノロジー BeamDraw |
| ダイシング装置 | 東京精密 A-WD-110A |
| ドライエッチング装置 | 住友精密工業 MultiplexASE-HR |
| 非接触三次元測定機 | 三鷹光器 NH-3SP |
| クリーンルーム | クラス1000 |
利用方法
(詳細は機器貸付要綱及び利用規程をご確認ください)
◎初めて利用するとき
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次の書類(1～3)をご提出ください。 【提出書類】 【提出先】 新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室 長岡市深沢町2085番地17 電話：0258-47-5171 FAX：0258-47-5172 受付：午前9時から午後5時まで(土日祝日・年末年始を除く) |
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◎機器を利用するとき
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上記の新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室に、機器利用の予約をしてください。ご予約状況は本ページのカレンダーで確認できます。 なお、最新の予約状況については直接ご確認ください。
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| 次の書類をご提出ください。 【提出書類】 NICOテクノプラザナノテク研究センター機器利用申込書 【提出先】 上記の新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室 |
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ご利用の時間に上記の新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室にお越しください。 ナノテク研究センターにご案内します。 |
| ◎利用料金のお支払い |
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貸出詳細
利用時間
平日9：00～17：00
予約状況
ご予約が入っている日時をグーグルカレンダーに掲載しております。
所在地
機器予約及び各種書類の提出先とご利用されるナノテク機器の設置場所の所在地は異なりますが、隣接した施設です。
| 【機器予約及び各種書類の提出先】 | 【ご利用されるナノテク機器の設置場所】 |
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| 新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室 |
ナノテク研究センター |
| 〒940-2135 長岡市深沢町2085-17 【アクセス】 関越自動車道「長岡IC」から車で5分 同研究所のホームページはこちら ＞ |
〒940-2135 長岡市深沢町2085-16 ながおか新産業創造センター（NBIC）内 【アクセス】 関越自動車道「長岡IC」から車で5分 設置施設(NBIC)のホームページはこちら ＞ |
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| 【ご利用されるナノテク機器の設置場所】 |
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| ナノテク研究センター |
| 〒940-2135 長岡市深沢町2085-16 ながおか新産業創造センター（NBIC）内 【アクセス】 関越自動車道「長岡IC」から車で5分 設置施設(NBIC)のホームページはこちら ＞ |
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設置機器利用料金及び概要
スパッタリング装置
利用料金：7,000円／時間
メーカー：芝浦メカトロニクス
機種：CFS-4EP-LL（i-Miller）
仕様：同一チャンバ内に3種類のターゲット
マグネトロンサイドスパッタ方式、RF（500W）切替
基板：φ150ｍｍ以下、φ200ｍｍ／バッチ
基板回転機構
電子線描画装置
利用料金：6,500円／時間
【SEM部】
メーカー：日立ハイテクノロジーズ
機種：S4300SE
仕様：ショットキーエミッション型電子銃
分解能:1.5nm（30kV、WD:5mm）
倍率：×20～×500,000
【描画制御部】
メーカー：東京テクノロジー
機種：BeamDraw
仕様： 図形つなぎ精度±0.3μｍ、
繰返し位置決め精度：±0.5μｍ
最小線幅： 0.02～0.06μｍ
（描画エリア：□ 100～500μｍの範囲）
ダイシング装置
利用料金：6,500円／時間
メーカー：東京精密
機種：A-WD-110A
仕様：基板サイズ：最大φ240mm
又は240×280mm、212×212mm
低倍／高倍切替式によるオートアライメント
Ｘ軸切削速度0.1～450mm/s
Ｙ軸移動速度最大80mm/s
非接触三次元測定機
利用料金：4,000円／時間
メーカー：三鷹光器
機種：NH-3SP
■X, Y, Z軸
可動範囲：X, Y軸150mm, Z軸120mm
分解能：X, Y軸0.01μm, Z軸（AF部）0.001μm
■回転軸
可動範囲：360°
ドライエッチング装置
利用料金：7,000円／時間
メーカー：住友精密工業
機種：MultiplexASE-HR
仕様：プロセスガス：C4F8、CF4、CHF3、SF6、O2
試料サイズ：φ100mm
加工対象：Si、SiO2
ボッシュプロセス対応
クリーンルーム
利用料金：5,500円／時間
仕様：クラス1000（対象粒径0.5μｍ以上）
精密加工室
仕様：23±1℃の精密恒温室
お問い合わせ先
機器のご予約希望、お問い合わせは新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室（電話：0258-47-5171）までご連絡ください。
＜操作研修・設備管理者＞
新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室
〒940-2135
長岡市深沢町2085-17
電話：0258-47-5171
FAX：0258-47-5172
＜管理責任者・建物管理者＞
NICOテクノプラザ
〒940-2127
長岡市新産4-1-9
電話：0258-46-9711
FAX：0258-46-4106
0258-46-9711
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