随時受付:ナノテク研究センター機器貸出

2017年04月01日
 現在の状況 
随時受付

ナノテク研究センター内の機器を貸出しします。

利用規程を遵守し、ご利用いただくようお願い申し上げます。

機器貸付要綱(152KB)
申請様式(81KB)
利用規程(128KB)

所在地

〒940-2135
長岡市深沢町2085-16
ながおか新産業創造センター(NBIC)内 同センターHP

利用時間

平日9:00~17:00

予約状況

機器予約状況はこちらをご覧ください。
googleカレンダー

案内チラシ

案内チラシ(2MB)

設置機器利用料金及び概要

 

スパッタリング装置

nanotech_p2
利用料金:12,000円/時間

メーカー:芝浦メカトロニクス
機種:CFS-4EP-LL(i-Miller)
仕様:同一チャンバ内に3種類のターゲット
マグネトロンサイドスパッタ方式、RF(500W)切替
基板:φ150mm以下、φ200mm/バッチ
基板回転機構

 

電子線描画装置

nanotech_p3
利用料金:13,000円/時間

○SEM部
メーカー:日立ハイテクノロジーズ
仕様:ショットキーエミッション型電子銃
分解能:1.5nm(30kV,WD:5mm)
倍率:×20~×500,000
機種:S4300SE
○描画制御部
メーカー:東京テクノロジー
機種:BeamDraw
仕様:位置決め制御:±0.1mm、繰返し精度:±0.5mm
最小線幅:0.02~0.05mm
(描画エリア100、500mm)

 

ダイシング装置

nanotech_p4
利用料金:10,000円/時間

メーカー:東京精密
機種:A-WD-110A
仕様:基板サイズ:最大φ240mm
又は240×280mm、212×212mm
低倍/高倍切替式によるオートアライメント
X軸切削速度0.1~450mm/s
Y軸移動速度最大80mm/s

 

ナノ加工機

nanotech_p5
利用料金:12,000円/時間

メーカー:ファナック
機種:ROBONANO α-0iA

 

非接触三次元測定機

nanotech_p6
利用料金:3,000円/時間

メーカー:三鷹光器
機種:NH-3SP

 

ドライエッチング装置

souchi_nakgaoka01
利用料金:14,000円/時間

メーカー:住友精密工業
機種:MultiplexASE-HR
仕様:プロセスガス:C48、SF6、O2
試料サイズ:φ100mm
加工対象:Si、SiO2
ボッシュプロセス対応

 

クリーンルーム

クラス1000(対象粒径0.5μm以上)

 

精密加工室

23±1℃の精密恒温室

 

 

お問い合わせ先

<設備管理者>
新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室
〒959-2135
長岡市深沢町2085-17
電話:0258-47-5171
FAX:0258-47-5172
<管理責任者・建物管理者>
NICOテクノプラザ
〒940-2127
長岡市新産4-1-9
電話:0258-46-9711
FAX:0258-46-4106

このページの情報に関する窓口は
テクノプラザ
t-plaza(アット)nico.or.jp
〒950-0078
新潟市中央区万代島5-1
万代島ビル9F
お電話・FAXによるお問い合わせ
お電話によるお問い合わせ 0258-46-9711(TEL)
FAXによるお問い合わせ 0258-46-4106(FAX)
営業時間 9:00~17:30
(土日・祝日・年末年始を除く)
メールフォームによるお問い合わせ

メルマガ・SNS


ページトップへページトップへ
NICO 公益財団法人にいがた産業創造機構
〒950-0078
新潟市中央区万代島5番1号
万代島ビル9F・10F(NICOプラザ11F)

TEL 025-246-0025(代)
FAX 025-246-0030
営業時間 9:00~17:30
(土日・祝日・年末年始を除く)