NICO

随時受付:ナノテク研究センター機器

ナノテク研究センター内の機器を貸出しします。

利用規程を遵守し、ご利用いただくようお願い申し上げます。
機器貸付要綱(152KB)
申請様式(81KB)
利用規程(128KB)

【所在地】
〒940-2135
長岡市深沢町2085-16
ながおか新産業創造センター(NBIC)内 同センターHP

【利用時間】
平日9:00~17:00

【予約状況】
機器予約状況はこちらをご覧ください。
googleカレンダー

【案内チラシ】
案内チラシ(2MB)

【設置機器利用料金及び概要】

■スパッタリング装置
nanotech_p2
利用料金:12,000円/時間
メーカー:芝浦メカトロニクス
機種:CFS-4EP-LL(i-Miller)
仕様:同一チャンバ内に3種類のターゲット
マグネトロンサイドスパッタ方式、RF(500W)切替
基板:φ150mm以下、φ200mm/バッチ
基板回転機構

■電子線描画装置
nanotech_p3
利用料金:13,000円/時間
○SEM部
メーカー:日立ハイテクノロジーズ
仕様:ショットキーエミッション型電子銃
分解能:1.5nm(30kV,WD:5mm)
倍率:×20~×500,000
機種:S4300SE
○描画制御部
メーカー:東京テクノロジー
機種:BeamDraw
仕様:位置決め制御:±0.1mm、繰返し精度:±0.5mm
最小線幅:0.02~0.05mm
(描画エリア100、500mm)

■ダイシング装置
nanotech_p4
利用料金:10,000円/時間
メーカー:東京精密
機種:A-WD-110A
仕様:基板サイズ:最大φ240mm
又は240×280mm、212×212mm
低倍/高倍切替式によるオートアライメント
X軸切削速度0.1~450mm/s
Y軸移動速度最大80mm/s

■ナノ加工機
nanotech_p5
利用料金:12,000円/時間
メーカー:ファナック
機種:ROBONANO α-0iA

■非接触三次元測定機
nanotech_p6
利用料金:3,000円/時間
メーカー:三鷹光器
機種:NH-3SP

■ドライエッチング装置
souchi_nakgaoka01
利用料金:14,000円/時間
メーカー:住友精密工業
機種:MultiplexASE-HR
仕様:プロセスガス:C48、SF6、O2
試料サイズ:φ100mm
加工対象:Si、SiO2
ボッシュプロセス対応

■クリーンルーム
クラス1000(対象粒径0.5μm以上)

■精密加工室
23±1℃の精密恒温室

【お問い合わせ先】
<設備管理者>
新潟県工業技術総合研究所レーザー・ナノテク研究室
〒959-2135
長岡市深沢町2085-17
電話:0258-47-5171
FAX:0258-47-5172
<管理責任者・建物管理者>
NICOテクノプラザ
〒940-2127
長岡市新産4-1-9
電話:0258-46-9711
FAX:0258-46-4106

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目的

  • 新商品・新技術を開発したい
  • 施設を利用したい

支援内容

  • 会議室・研修室・事務所等の賃貸

受付状況

受付中 受付期限:随時